LMM線(xiàn)縫寬（CD）測(cè)量機(jī)
LMM系列大面積高精度線(xiàn)寬測(cè)量機(jī)，通過(guò)手動(dòng)或根據(jù)設(shè)計(jì)的測(cè)量程序自動(dòng)對(duì)工件線(xiàn)路進(jìn)行線(xiàn)寬及套合測(cè)量，保證線(xiàn)路寬度及套合精度，測(cè)量精度可達(dá)到5nm
應(yīng)用領(lǐng)域:
1．FPD（LCD、OLED、PDP等）、IC封裝、高精度PCB （HDI，BGA、CSP等） 、 Photomask、模具及其他電子行業(yè)基板的精密測(cè)量。
2．線(xiàn)、縫寬度、圓直徑、圓度、圓環(huán)寬等小尺寸的精密測(cè)量。