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    Copy mask 規(guī)格

      
    
      

      

      

      

      Copy mask 規(guī)格
      


      1、Mask size (Unit: mm)
      


      Soda lime: 3006、4009、5009、6009、6012
      
Quartz：5009、6009
      


       
      


      2、Mask Specification (Unit: um)
      


      
	
		
      
			Grade
			E
			D
			C
			B
			A
		
      
		
      
			CD
			±0.50
			±0.75
			±1.0
			±1.5
			±2.0
		
      
		
      
			Defect
			<10.0
			<10.0
			<10.0
			<10.0
			<10.0
		
      
	      

      

      

      

      

      


      
 
      

      
    
      
    
      
    
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